Pour une formation :
- Prendre contact avec la personne en charge de cet équipement afin de discuter des besoins, à l'issue de cet échange, un rendez-vous sera donné en commun accord.
Machine ouverte aux utilisateurs ayant suivi une formation préalable
ou
Possibilité de demander une prestation
Gas : N2 / O2 / Ar / CF4 / SF6 / CHF3 / C4F8 (0 - 100sccm)
RF : 0 - 600W
Pression de travail : 0 - 500mtorr