Ce bâti a deux chemisages, un  III-V et un matériaux métalliques. Il peut donc y avoir des campagnes de gravures selon les besoins. Le changement de chemisage se fait sur demande en concertation avec les autres utilisateurs et pour une duréé de 3 semaines minimum. Passé 3 semaines s'il n'y a pas de demande la machine reste telle qu'elle est, s'il y a une demande le changement sera effectué.

Attention, Pas de masque métallique dans le chemisage III-V 

Pour une formation :

- Prendre contact avec la personne en charge de cet équipement afin de discuter des besoins, à l'issue de cet échange, un rendez-vous sera donné en commun accord.

Machine ouverte aux utilisateurs ayant suivi une formation préalable

ou

Possibilité de demander une prestation

O2 / Ar / N2 / Cl2 / BCl3 / C4F8 / CF4 / SF6 / CH4 / H2 / SiCl4

Puissance platen : 0 - 30 W ou 0 - 300 W

Puissance coil : 0 - 1000W (950W)

Possibilité de chauffer l'échantillon

Pression de travail : *******